Control of Heat Capacity of Moisture Sensor by Galvanic Arrays with Micro/Nano Gap

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Pacific Rim Meeting on Electrochemical and Solid State Science (2020 : Online) (15.) Microfabricated and Nanofabricated Systems for MEMS/NEMS 15
1. Verfasser:	Kubota, Y. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Satoh, N. (VerfasserIn), Sakamoto, Y. (VerfasserIn), Kawakita, J. (VerfasserIn)
Pages:	15
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2020
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