A novel method for the bottom-up microstructuring of silicon and patterning of polymers

Dissertation, Technische Universität Dresden, 2021

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Schutzeichel, Christopher (VerfasserIn)
Körperschaft:	Technische Universität Dresden (Grad-verleihende Institution)
Weitere Verfasser:	Voit, Brigitte (AkademischeR BetreuerIn), Mannsfeld, Stefan (AkademischeR BetreuerIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Dresden 15. Juni 2021
Schlagworte:	Hochschulschrift > Silicium > Oberflächenstruktur
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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