Impact of an Amino-Alcohol Organic Molecule on SiO2 and Si Bonding Energy

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Pacific Rim Meeting on Electrochemical and Solid State Science (2020 : Online) (16.) Semiconductor Wafer Bonding: Science, Technology and Applications 16
1. Verfasser:	Fournel, F. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Calvez, A. (VerfasserIn), Larrey, V. (VerfasserIn), Eleouet, G. (VerfasserIn), Morales, C. (VerfasserIn), Rieutord, F. (VerfasserIn)
Pages:	16
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2020
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