Dynamische Analyse von Sauerstoff- und Kohlenstofftransport in der Halbleiterherstellung - DOCS; Teilvorhaben: Optimierung der Kristallisationsparameter und Simulationsberechnung : Schlussbericht : Laufzeit des Vorhabens: 01.11.2018 bis 31.10.2020

Dynamische Analyse von Sauerstoff- und Kohlenstofftransport in der Halbleiterherstellung - DOCS; Teilvorhaben: Optimierung der Kristallisationsparameter und Simulationsberechnung Schlussbericht : Laufzeit des Vorhabens: 01.11.2018 bis 31.10.2020

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Kunert, Roland (VerfasserIn)
Körperschaft: Fraunhofer-Center für Silizium-Photovoltaik CSP (Herausgebendes Organ)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Halle (Saale) Fraunhofer-Center für Silizium-Photovoltaik CSP 2020
Schlagworte:
Forschungsbericht
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Beschreibung
Beschreibung:Förderkennzeichen BMBF 01DJ18019
Verbundnummer 01185247
Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden
Beschreibung:18 ungezählte Blätter
Illustrationen, Diagramme