Three-dimensional-nanopatterned resonant silicon microcantilevers for gas detection

Dissertation, Technische Universität Carolo-Wilhelmina zu Braunschweig, 2020

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Xu, Jiushuai (VerfasserIn)
Körperschaften:	Technische Universität Braunschweig (Grad-verleihende Institution), Verlag Dr. Hut (Verlag)
Weitere Verfasser:	Peiner, Erwin (AkademischeR BetreuerIn), Kowalsky, Wolfgang (AkademischeR BetreuerIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	München Verlag Dr. Hut 2021
Ausgabe:	1. Auflage
Schriftenreihe:	Elektrotechnik
Schlagworte:	Hochschulschrift > Gassensor > Kantilever > Piezoelektrizität
Online Zugang:	Inhaltstext Unbekannt Inhaltsverzeichnis
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