Mikroelektromechanischer Sensor zur Detektion und Charakterisierung von luftgetragenen Nanopartikeln

Dissertation, Technische Universität Carolo-Wilhelmina zu Braunschweig, 2020

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Bertke, Maik (VerfasserIn)
Körperschaften:	Technische Universität Braunschweig (Grad-verleihende Institution), Shaker Verlag (Verlag)
Weitere Verfasser:	Peiner, Erwin (AkademischeR BetreuerIn), Kowalsky, Wolfgang (AkademischeR BetreuerIn), Waag, Andreas (AkademischeR BetreuerIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Düren Shaker Verlag 2021
Schriftenreihe:	Berichte aus der Mikrosystemtechnik
Schlagworte:	Hochschulschrift > Gravimetrischer Sensor > Siliciumbauelement > Array > MEMS > Nanopartikel > Detektor
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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