Präparation von beschichteten Durchkontaktierungen an Siliziumwafern

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Fortschritte in der Metallographie
1. Verfasser:	Kraft, T. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	VVarnat, S. (VerfasserIn), Reiter, K. (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2008
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