PRECISION NON-CONTACT FIBER-OP0C DISPLACEMENT SENSOR BASED ON NEAR- FIELD SPECKLEGRAM

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	ASPE Winter Topical Meeting on Precision Engineering for Micro and Nanotechnology (2018 : Livermore, Calif.) ASPE 2018 Winter Topical Meeting on Precision Engineering for Micro and Nanotechnology
1. Verfasser:	Feng, F. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Chen, W. (VerfasserIn), Lin, W. (VerfasserIn), Chen, D. (VerfasserIn), Chen, S. (VerfasserIn)
Pages:	2018
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2019
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