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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:ASPE Winter Topical Meeting on Precision Engineering for Micro and Nanotechnology (2018 : Livermore, Calif.) ASPE 2018 Winter Topical Meeting on Precision Engineering for Micro and Nanotechnology
1. Verfasser: Harvey, P. (VerfasserIn)
Pages:2018
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: 2019
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Beschreibung
ISBN:9781510882966