Metrologische Probleme bei der Bestimmung der Härte dünner Schichten

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Tagung Werkstoffprüfung (1999 : Bad Nauheim) Vortrags- und Diskussionstagung Werkstoffprüfung 1999
1. Verfasser: HERRMANN, K. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: HASCHE, K. (VerfasserIn), POHLENZ, F. (VerfasserIn), SEEMANN, R. (VerfasserIn)
Pages:1999
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: 1999
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Titel Jahr Verfasser
Werkstoffprüfung und Zuverlässigkeitsbewertung in der Mikrosystemtechnik 1999 MICHEL, B.
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