Chemical Vapor Deposition of AIZrN Coatings by the Reaction of In Situ Produced ZrCl4 and AICI3 with NH3

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Symposium on Composites (22. : 2019 : Kaiserslautern) 22nd Symposium on Composites
1. Verfasser:	Rauchenwald, E. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Lessiak, M. (VerfasserIn), Weissenbacher, R. (VerfasserIn), Haubner, R. (VerfasserIn)
Pages:	22
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2019
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