Grundlegende Untersuchungen zum konstruktiven Aufbau von Fünfachs-Nanopositionier- und Nanomessmaschinen

Dissertation, Technische Universität Ilmenau, 2020

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Schienbein, Ralf (VerfasserIn)
Körperschaften:	Technische Universität Ilmenau (Grad-verleihende Institution), Universitätsverlag Ilmenau (Verlag)
Weitere Verfasser:	Theska, René (AkademischeR BetreuerIn), Füßl, Roland (AkademischeR BetreuerIn), Latyev, Svjatoslav M. (AkademischeR BetreuerIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Ilmenau Universitätsverlag Ilmenau 2020
Schriftenreihe:	Berichte aus dem Institut für Maschinen- und Gerätekonstruktion (IMGK) Band 37
Schlagworte:	Hochschulschrift > Positionierantrieb > Messmaschine > Nanometerbereich > Mehrachsigkeit > Geräteentwicklung > Konstruktion > Präzisionsmessung > Positioniergenauigkeit > Fabry-Pérot-Interferometer
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis Abstract Inhaltstext
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