Laserbasiertes Eintreiben von Dotanden in Si aus as-deposited Silikatgläsern zur Erzeugung von rekombinationsarmen selektiv hochdotierten Bereichen Abschlussbericht : Projektzeitraum: 01.03.2017-29.02.2020 = Laser based drive-in of dopants in silicon from as deposited in-situ doped glasses for the formation of low recombinative selective highly doped areas

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Seren, Sven (VerfasserIn)
Körperschaft:	Gebr. Schmid Maschinenfabrik GmbH & Co. (Herausgebendes Organ)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Freudenstadt Gebr. Schmid GmbH 2020
Schlagworte:	Forschungsbericht
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!