Laserbasiertes Eintreiben von Dotanden in Si aus as-deposited Silikatgläsern zur Erzeugung von rekombinationsarmen selektiv hochdotierten Bereichen Abschlussbericht : Projektzeitraum: 01.03.2017-29.02.2020 = Laser based drive-in of dopants in silicon from as deposited in-situ doped glasses for the formation of low recombinative selective highly doped areas
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
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| Körperschaft: | |
| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | ger |
| Veröffentlicht: |
Freudenstadt
Gebr. Schmid GmbH
2020
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| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
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Tag hinzufügen | Beschreibung: | Förderkennzeichen BMWi 0324143A Verbundnummer 01176014 Paralleltitel dem englischen Berichtsblatt entnommen Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden |
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| Beschreibung: | 51 Seiten, 2 ungezählte Blätter Illustrationen, Diagramme |