The growth, thermal stability, and structural and electrical properties of doped and undoped Si-based epitaxial structures
Zugl.: Linköping, Univ., Diss. : 1994
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1. Verfasser: | |
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Format: | UnknownFormat |
Sprache: | eng |
Veröffentlicht: |
Linköping
Univ.
1994
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Schriftenreihe: | Linköping studies in science and technology
341 |
Schlagworte: | |
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