Ein Beitrag zur Modellbildung und Steuerung der Nanopositionier- und Nanomessmaschine 200

Dissertation, Technische Universität Ilmenau, 2020

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Meister, Andreas (VerfasserIn)
Körperschaft:	Technische Universität Ilmenau (Grad-verleihende Institution)
Weitere Verfasser:	Füßl, Roland (AkademischeR BetreuerIn), Ament, Christoph (AkademischeR BetreuerIn), Schäffel, Christoph (AkademischeR BetreuerIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Ilmenau 2020
Schlagworte:	Hochschulschrift > Nanometerbereich > Fertigungsmesstechnik > Präzisionsmessung
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis Abstract
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