Vapor Growth of 3C-SiC Using the Transition Layer of 3C-SiC on Si CVD Templates

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	European Conference on Silicon Carbide and Related Materials (12. : 2018 : Birmingham) Silicon carbide and related materials 2018
1. Verfasser:	Schuh, P. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Künecke, U. (VerfasserIn), Litrico, G. (VerfasserIn), Mauceri, M. (VerfasserIn), Via, F. La (VerfasserIn), Monnoye, S. (VerfasserIn), Zielinski, M. (VerfasserIn), Wellmann, P. J. (VerfasserIn)
Pages:	2018
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2019
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