Finite Element Analysis of the Attractive Force on a Coulomb Type Electrostatic Chuck

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	2007 International Conference on Electrical Machines and Systems ; [2]
1. Verfasser:	Yoo, Jeonghoon (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Choi, Jae-Seok (VerfasserIn), Hong, Sang-Joon (VerfasserIn), Kim, Tae-Hyun (VerfasserIn), Lee, Sung Jin (VerfasserIn)
Pages:	2007
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2007
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