PVD-Verfahren bei niedrigen Temperaturen und neue Schichtsysteme Abschlußbericht ; Berichtszeitraum: 1.8.1990 - 31.7.1992

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Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser: Bewilogua, Klaus (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Braunschwerig Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik 1992
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