"Entwicklung eines hochintegrierten digitalen Hochleistungsbelichters für die Belichtung von Lötstopplacken" - DAHLIA - ; Teilprojekt: MEMS-Scanner für digitale Belichter : Abschlussbericht zum Verbundvorhaben : KMU Innovativ - Photonik im Rahmen des Programms "Photonik Forschung Deutschland" vom 06.02.2015 : 01.12.2015 - 30.11.2018 = MEMS-Scanner for digital light exposure within the joint project: "Development of a highly integrated digital high performance exposure for the exposure of solder-stop-resists"

"Entwicklung eines hochintegrierten digitalen Hochleistungsbelichters für die Belichtung von Lötstopplacken" - DAHLIA - ; Teilprojekt: MEMS-Scanner für digitale Belichter Abschlussbericht zum Verbundvorhaben : KMU Innovativ - Photonik im Rahmen des Programms "Photonik Forschung Deutschland" vom 06.02.2015 : 01.12.2015 - 30.11.2018 = MEMS-Scanner for digital light exposure within the joint project: "Development of a highly integrated digital high performance exposure for the exposure of solder-stop-resists"

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Senger, Frank (VerfasserIn)
Körperschaft: Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie (Herausgebendes Organ)
Weitere Verfasser: Piechotta, Gundula (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Itzehoe Fraunhofer Institut für Siliziumtechnologie (ISIT) 2018
Schlagworte:
Forschungsbericht
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Beschreibung
Beschreibung:Förderkennzeichen BMBF 13N13879. - Verbund-Nummer 01167572
weiteren Autor dem Berichtsblatt entnommen. - Paralleltitel dem englischen Berichtsblatt entnommen
Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden
Beschreibung:1 ungezähltes Blatt, 7 Blätter, 2 ungezählte Blätter
Illustrationen, Diagramme