Seven Nanometer Technology (SeNaTe) : Abschlussbericht im Rahmen des EU-Förderprogramms ECSEL : Berichte der Teilvorhaben: "Dual Damascene BEOL stack & patterning implementation" (Fh-ENAS), "Improved reflection coatings for optical systems with 7 nm resolution" (Fh-IWS) : Laufzeit des Vorhabens: 1/4/2015 - 31/3/2018

Seven Nanometer Technology (SeNaTe) Abschlussbericht im Rahmen des EU-Förderprogramms ECSEL : Berichte der Teilvorhaben: "Dual Damascene BEOL stack & patterning implementation" (Fh-ENAS), "Improved reflection coatings for optical systems with 7 nm resolution" (Fh-IWS) : Laufzeit des Vorhabens: 1/4/2015 - 31/3/2018

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Haase, Micha (VerfasserIn)
Körperschaften: Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme (Herausgebendes Organ), Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie (Herausgebendes Organ), Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik (Herausgebendes Organ)
Weitere Verfasser: Ecke, Ramona (VerfasserIn), Gawlitza, Peter (VerfasserIn), Braun, Stefan (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Chemnitz Fraunhofer ENAS 2018
Schlagworte:
Forschungsbericht > Fotolithografie > Low-k-Dielektrikum > Laserspektroskopie > Quantenkaskadenlaser > Spiegel > Beschichtung > Extremes Ultraviolett > Schichtdicke > Eigenspannung
Online Zugang:Inhaltsverzeichnis
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Beschreibung
Beschreibung:Förderkennzeichen BMBF 16ESE0042 - 16ESE0044S. - Verbund-Nummer 01160608
Autoren dem Berichtsblatt entnommen
Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden
Beschreibung:32 Blätter, 4 ungezählte Blätter
Illustrationen, Diagramme