Mikro-Membranpumpen als Komponenten für Mikro-Fluidsysteme

Zugl.: München, Univ. der Bundeswehr, Diss. : 1994

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Zengerle, Roland (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Aachen Shaker 1994
Ausgabe:	Als Ms. gedr.
Schriftenreihe:	Berichte aus der Halbleitertechnik
Schlagworte:	Hochschulschrift > Mikrosystemtechnik > Membranpumpe
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