Plasmagestützte Beschichtungsverfahren Grundlagen, Technologien, Anlagen und industrielle Anwendungen

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Vetter, Jörg (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Berger, Manfred (VerfasserIn), Derflinger, Volker (VerfasserIn), Krassnitzer, Siegfried (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	München Verlag Moderne Industrie 2017
Schriftenreihe:	Die Bibliothek der Technik 394
Schlagworte:	Plasmaabscheidung > PVD-Verfahren > PECVD-Verfahren > Kombinationsverfahren > Fertigungsanlage > Hartstoff > Tribologie
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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