Principles of plasma discharges and materials processing

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Lieberman, Michael A. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Lichtenberg, Allan J. (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Hoboken, NJ Wiley-Interscience 2005
Ausgabe:	Second edition
Schlagworte:	Plasmadynamik > Dünnschichttechnik > Oberflächenbehandlung > Plasmaphysik > Elektrische Entladung > ECR-Ätzen > Plasmastrahlbearbeitung > Plasmaätzen > Plasmachemie > Festkörperoberfläche > Dünne Schicht
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