Modeling and control for micro/nano devices and systems

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Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser:	Xi, Ning (HerausgeberIn), Zhang, Mingjun (HerausgeberIn), Li, Guangyong (HerausgeberIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Boca Raton, London, New York CRC Press Taylor & Francis Group 2014
Schriftenreihe:	Automation and control engineering a series of reference books and textbooks
Schlagworte:	Miniature electronic equipment > Microelectromechanical systems > Nanotechnology > Nanoelectromechanical systems > Systems biology > Aufsatzsammlung > MEMS
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