Makro- und mikromechanische Untersuchungen zum Drahtsägen von Siliziumwafern

Zugl.: Freiberg, TU Bergakademie, Diss., 2010

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Liedke, Thomas (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Freiberg Techn. Univ. Bergakad. 2011
Schriftenreihe:	Berichte des Instituts für Mechanik und Fluiddynamik 7
Schlagworte:	Hochschulschrift
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