Aspekte der SiC-Technologie: Micropipes und Implantantionsdefekte

Aspekte der SiC-Technologie: Micropipes und Implantantionsdefekte

Zugl.: Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 1999

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Heindl, Jürgen (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Erlangen, Nürnberg Lehrstuhl für Mikrocharakterisierung, Friedrich-Alexander-Univ. 1999
Schriftenreihe:Mikrostrukturelle Materialforschung 9
Schlagworte:
Hochschulschrift > Silicium > Technik > Gitterbaufehler > Siliciumcarbid > Zylindrischer Hohlraum > Ionenimplantation > Kristallzüchtung
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Beschreibung
Zusammenfassung:Zugl.: Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 1999
Beschreibung:80 S.
Ill., graph. Darst.
ISBN:3932392159
3-932392-15-9