Die plasmagestützte Gasphasenabscheidung (PACVD) - ein leistungsfähiges Verfahren zur Beschichtung von Werkzeugen md Bauteilen

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Randschichttechnik - Erzeugung und Anwendung tribologisch beanspruchter Schichtverbunde
1. Verfasser:	Leonhardt, A. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Bartsch, K. (VerfasserIn), Täschner, Ch. (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	1999
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