Nanoreaktionskinetik in SiC-Waferoberflächen

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Kristallisation und Technik
1. Verfasser:	Woltersdorf, Jörg (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Hähnel, Angelika (VerfasserIn), Pippel, Eckhard (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	2002
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