Polierverfahren in der Halbleiterfertigung

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Freiberger Siliciumtage (2003 : Freiberg) Freiberger Siliciumtage 2003
1. Verfasser: Pfitzner, Lothar (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Bär, Eberhard (VerfasserIn), Frickinger, J. (VerfasserIn), Nguyen, H. (VerfasserIn), Nutsch, Andreas (VerfasserIn)
Pages:2003
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: 2004
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