$Surface damage and fracture behaviour$

Surface damage and fracture behaviour

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Freiberger Siliziumtage (5 : 2005 : Freiberg) Freiberger Siliziumtage 2005
1. Verfasser:	Funke, Claudia (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Möller, Hans Joachim (VerfasserIn)
Pages:	2005
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2006
Schlagworte:	Silicium > Wafer > Oberflächenschaden > Bruchverhalten > Mikroriss
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!

Beschreibung
ISBN:	9783860122952