Plasmaätzverfahren für die Mikrostrukturierung von elektronischen Bauelementen aus YBa2Cu3O7

Zugl.: Hamburg, Univ., FB Physik, Diss. : 1993

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Bade, Thomas (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Düsseldorf VDI-Verl. 1994
Ausgabe:	Als Ms. gedr.
Schriftenreihe:	Fortschritt-Berichte VDI Reihe 2, Fertigungstechnik 315
Schlagworte:	Hochschulschrift > Supraleitendes elektronisches Bauelement > Plasmaätzen > Ionenstrahlätzen > Mehrschichtsystem > Photoresist
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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