Excimer lasers and new trends in laser microtechnology : [papers presented at the International Symposium-Workshop on "Excimer Lasers and New Trends in Laser Microtechnology" held in Bremen, Germany, November 10 - 13, 1992]

Excimer lasers and new trends in laser microtechnology [papers presented at the International Symposium-Workshop on "Excimer Lasers and New Trends in Laser Microtechnology" held in Bremen, Germany, November 10 - 13, 1992]

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: International Symposium Workshop on Excimer Lasers and New Trends in Laser Microtechnology (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Metev, Simeon M. (BerichterstatterIn, HerausgeberIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Bamberg Meisenbach 1993
Schlagworte:
Konferenzschrift > Excimerlaser > Laser > Mikrosystemtechnik
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