Hochrate-Abscheidung von piezoelektrischen Aluminiumnitrid-Dünnschichten mittels reaktiven Magnetron-Sputterns

Zugl.: Dresden, Techn. Univ., Fak. Elektrotechnik und Informationstechnik, Diss., 2015

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Barth, Stephan (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Dresden TUDpress, Verl. der Wiss. 2015
Schriftenreihe:	Dresdner Beiträge zur Sensorik 56
Schlagworte:	Hochschulschrift > Aluminiumnitrid > Magnetronsputtern > Reaktives Sputtern > Dünne Schicht > Mechanische Spannung > Schichtdicke > Dotierung > Piezoelektrizität
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Zugl.: Dresden, Techn. Univ., Fak. Elektrotechnik und Informationstechnik, Diss., 2015
Beschreibung:	103 S. Ill., graph. Darst.
ISBN:	9783959080132 978-3-95908-013-2