Hochrate-Abscheidung von piezoelektrischen Aluminiumnitrid-Dünnschichten mittels reaktiven Magnetron-Sputterns

Zugl.: Dresden, Techn. Univ., Fak. Elektrotechnik und Informationstechnik, Diss., 2015

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Barth, Stephan (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Dresden TUDpress, Verl. der Wiss. 2015
Schriftenreihe:	Dresdner Beiträge zur Sensorik 56
Schlagworte:	Hochschulschrift > Aluminiumnitrid > Magnetronsputtern > Reaktives Sputtern > Dünne Schicht > Mechanische Spannung > Schichtdicke > Dotierung > Piezoelektrizität
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!

Keine Ergebnisse!