Entwicklung von elektrochemisch abgeschiedenem LIGA-Ni-Al für Hochtemperatur-MEMS-Anwendungen

Zugl.: Karlsruhe, KIT, Diss., 2013

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Teutsch, Michael (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Karlsruhe KIT Scientific Publishing 2013
Schriftenreihe:	Schriftenreihe des Instituts für Angewandte Materialien 24
Schlagworte:	Hochschulschrift > Forschungsbericht > MEMS > Superlegierung > Nickellegierung > LIGA-Verfahren
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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