Advanced metallization for ULSI applications [the Advanced Metallization Conference 2010, 20th Asia Session (ADMETA 2010) was held in Takeda Hall, The University of Tokyo, Japan, from October 29 to 22, 2010]

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft:	Advanced Metallization Conference Asian Session (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Koike, Junichi (HerausgeberIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Tokyo Japan Soc. of Applied Physics 2011
Schriftenreihe:	Japanese journal of applied physics 50,5,2 : Special issue
Schlagworte:	Konferenzschrift
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