Development of high temperature electrodeposited LIGA MEMS materials
Zugl.: Karlsruhe, Univ., Diss., 2009, Manel Haj-Taieb
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Format: | UnknownFormat |
Sprache: | eng |
Veröffentlicht: |
Karlsruhe
Forschungszentrum Karlsruhe in der Helmholtz-Gemeinschaft FZKA
2009
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Schriftenreihe: | Wissenschaftliche Berichte / Forschungszentrum Karlsruhe in der Helmholtz-Gemeinschaft
7492 |
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