Development of high temperature electrodeposited LIGA MEMS materials

Zugl.: Karlsruhe, Univ., Diss., 2009, Manel Haj-Taieb

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Haj-Taieb, Manel (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Aktaa, Jarir (BerichterstatterIn), Bade, Klaus (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Karlsruhe Forschungszentrum Karlsruhe in der Helmholtz-Gemeinschaft FZKA 2009
Schriftenreihe:	Wissenschaftliche Berichte / Forschungszentrum Karlsruhe in der Helmholtz-Gemeinschaft 7492
Schlagworte:	Hochschulschrift > Forschungsbericht > LIGA-Verfahren > MEMS > Superlegierung > Nickellegierung > Wolframlegierung > Nanokomposit
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Zugl.: Karlsruhe, Univ., Diss., 2009, Manel Haj-Taieb
Beschreibung:	VIII, 128 S. Ill., graph. Darst.