Development of high temperature electrodeposited LIGA MEMS materials

Zugl.: Karlsruhe, Univ., Diss., 2009, Manel Haj-Taieb

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Haj-Taieb, Manel (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Aktaa, Jarir (BerichterstatterIn), Bade, Klaus (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Karlsruhe Forschungszentrum Karlsruhe in der Helmholtz-Gemeinschaft FZKA 2009
Schriftenreihe:Wissenschaftliche Berichte / Forschungszentrum Karlsruhe in der Helmholtz-Gemeinschaft 7492
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