Mehrlagenmetallisierung für hochintegrierte mikroelektronische Schaltungen

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Vogt, Holger (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Düsseldorf VDI-Verl. 1993
Ausgabe:	Als Ms. gedr
Schriftenreihe:	Fortschritt-Berichte / VDI Reihe 9, Elektronik Nr. 167
Schlagworte:	LSI > Mehrschichtschaltung > CMOS > Metallisieren
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