Gettering and defect engineering in semiconductor technology: GADEST '93 proceedings of the 5th International Atumn Meeting ["Gettering and Defect Engineering in Semiconductor Technology"] held in Chossewitz, near Frankfurt (Oder), Germany, October 09 - 14, 1993

Bibliographische Detailangaben

Körperschaft:	GADEST (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Grimmeiss, Hermann G. (BerichterstatterIn), Kittler, M. (BerichterstatterIn), Richter, H. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Zürich u.a. Trans Tech 1993
Schriftenreihe:	Diffusion and defect data / B 32/33
Schlagworte:	Konferenzschrift > Getterung > Halbleitertechnologie > Fehlerortung
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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