Microcircuit engineering ME ; proceedings of the Microcircuit Engineering Conference

Forts. als Monographie behandelt

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaften:	Microcircuit Engineering Conference (Herausgebendes Organ), International Conference on Microlithography (Herausgebendes Organ)
Format:	UnknownFormat
Veröffentlicht:	London u.a. Academ. Pr. 1977-1989
Schlagworte:	Zeitschrift > Konferenzschrift
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Titel	Jahr	Band
Microcircuit Engineering 89 : proceedings of the International Conference on Microlithography	1990	89
Microcircuit Engineering 88 : proceedings of the International Conference on Microlithography, September 20 - 22, 1988, Vienna, Austria	1989	88