Mehrlagenmetallisierung für hochintegrierte mikroelektronische Schaltungen

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Vogt, Holger (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Düsseldorf VDI-Verl 1993
Schriftenreihe:Fortschritt-Berichte VDI Reihe 9, Elektronik 167
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