Entwicklung und Anpassung von Metallisierungssystemen für AIN-Substrate Abschlußbericht für das Forschungsvorhaben ; Teilvorhaben A ; für die Zeit vom 01.02.1987 bis zum 31.12.1990
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Format: | UnknownFormat |
Sprache: | ger |
Veröffentlicht: |
München
1991
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Beschreibung: | Förderkennzeichen BMFT 13AS00497 |
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Beschreibung: | Getr. Zähl. [ca. 160 Bl.] Ill., graph. Darst |