Modelling and numerical treatment of the oxidation process of silicon

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Merz, Wilhelm (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Strecker, Norbert (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	München Inst. für Angewandte Mathematik und Statistik 1993
Schriftenreihe:	Report / Schwerpunktprogramm der Deutschen Forschungsgemeinschaft "Anwendungsbezogene Optimierung und Steuerung" 437
Schlagworte:	Forschungsbericht
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