Sputter-Cluster-Quelle Teilvorhaben ; Abschlußbericht zum F+E Verbundprojekt: Erzeugung, Charakterisierung und Abscheidung von Clustern

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Haberland, Hellmut (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Freiburg Freiburger Materialforschungszentrum ca. 1991
Schlagworte:	Forschungsbericht
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