Erprobung der Röntgenstrahllithographie im Submikronbereich FE-Vorhaben ; Abschlußbericht ; Abschlußdatum: April 1989 ; Contract NT-2706

Bibliographische Detailangaben

Körperschaft:	Telefunken Electronic GmbH (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Bomhardt, Klaus (BerichterstatterIn), Lässing, Gerhard (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Heilbronn u.a. 1989
Schlagworte:
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!