Sputtering data

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Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser: Eckstein, Wolfgang (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Garching bei München 1993
Ausgabe:Als Ms. gedr
Schriftenreihe:IPP / Max-Planck-Institut für Plasmaphysik 9 82
Schlagworte:
Datensammlung > Sputtern
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Beschreibung
Beschreibung:Literaturverz. S. 339 - 342
Beschreibung:342 Seiten
graph. Darst
30 cm