Analytische und numerische Behandlung des Oxidationsprozesses von Silizium

Augsburg, Univ., Diss. : 1992

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Merz, Wilhelm (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	1992
Schlagworte:	Hochschulschrift > Silicium > Oxidation > Mathematisches Modell
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Augsburg, Univ., Diss. : 1992
Beschreibung:	II, 123 S Ill., graph. Darst